半导体

PVDF 材料十分适配晶圆清洗设备，综合性能优势显著。该材料耐腐蚀性能优异，可耐受制程内各类酸液、有机溶剂等清洗药剂，长期使用不易被介质侵蚀，稳定保障清洗品质，延长设备使用寿命；耐热性能优良，可适配清洗工序各类温度工况，高温加热清洗时结构与性能均不会受影响；机械强度佳，日常运行受力不易开裂损坏；同时加工可塑性强，可根据晶圆清洗设备的设计要求，加工成各类规格异形零配件，满足设备精细化装配需求。