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工程案例

1.前言
    随着集成电路产业的迅猛发展及更新升级换代,对其生产中用作清洗用水及配制各种溶液用水的超纯水提出了更高的要求。微电子行业有约80%的工序需要用高纯水和超纯水做清洗之用,水质的好坏与集成电路产品的质量及生产成品率的高低有着很大的关系,集成电路产业发展到超大规模集成电路阶段时,水质更成为提高集成度的主要因素,而水质的好坏起决于制水工艺外,还与输送用水的管材有关,管材在输送用水过程的渗透或洁净度、粗糙度差,对输送介质会产生二次污染,成而影响产品的质量。为避免输送过程中的污染,保证水质及产品质量,集成电路产业终端用高纯水和超纯水的输送管路材质均采用PVDF(聚偏氟乙烯)管材,由于PVDF管材具有良好的化学稳定性、洁净度、光滑度等性能,故在微电子行业得到了广泛应用,取得了良好的社会效益及经济效益。    

2.工法特点
2.1采用与管材配套的热熔焊机加热需连接的端口,熔融后对接管道、管件;
2.2 PVDF管的加热焊接必须在预制洁净室内(洁净度≥100000级)进行;
2.3 PVDF整个施工(保管、运输、安装等)过程必须遵守洁净施工要求;

3.适用范围
     适用于集成电路行业输送高纯水及超纯水的PVDF(聚偏氟乙烯)管,采用红外加热焊接(热粘接)的配管施工。

4.工艺原理
   PVDF管材为高分子集合物-聚偏氟乙烯集合塑料材料,当其被加热至500℃及以上时,即熔化,在外力作用下对接后粘接成一体,经冷却成型后即延续管材本身具有的超强抗拉、致断延伸等性能。PVDF管施工即是根据PVDF材料本身的优良性能,利用上述加热焊接(热粘接)的原理加工成段,再连接成系统,以满足生产工艺的要求。